晶圆级老化测试

Trooper BI 是一个具有多个晶圆卡盘的全自动老化测试系统，在晶圆级的碳化硅老化测试方面性能卓越。它允许多个晶圆同时老化，使用我们的精密主动校准台架系统，可自动将晶圆从晶盒搬运到卡盘。该设备可以支持从 6 英寸到 8 英寸的晶圆，并提供多探针测试，热卡盘温度高达 200°C。